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          首頁 新聞中心 行業資訊 如何設計建設電子集成電路無塵車間?

          如何設計建設電子集成電路無塵車間?

          2022-06-18
          共有3365家企業看過

            電子集成電路是比較常見的一種電子產品,這種產品也是需要在無塵車間進行生產的。那么如何設計建設電子集成電路無塵車間的呢?隨合潔電子凈化工程公司一起來了解下吧!

            集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

          集成電路無塵車間的圖片

            無塵車間的建造,除考慮實用性及可靠性外, 強調靈活性以適應集成電路更新換代快的要求,使原有無塵車間能方便的迅速的按生產要求進行調整及改造。FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整,這些都能很好地滿足半導體制造的需求,因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的凈化設計方案。

            FFU循環系統的特點是整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成,由FFU提供循環空氣的動力,將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負壓。此外,還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域,包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

            集成電路制造對無塵車間環境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環境下,而化學機械研磨則只要求1000級的環境即可。另外,集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。

            好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生產提供安全可靠的保證。FFU循環系統運行成本低,潔凈度安全性高,因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高,因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

            集成電路制造是高能耗的產業,而潔凈空調系統的能耗則占其中的30%以上,因此節能安全的潔凈室設計和各種熱能回收設計將是未來的發展方向。主流大廠已經進入了納米時代,集成電路制造潔凈廠房的設計建造和節能創新也需要不斷提升,為先進制程產品生產提供保障。

            以上就是本篇文章全部講解,想必您讀到這里,一定對如何設計建設電子集成電路無塵車間?有了一定的認識。如您想了解更多關于電子潔凈車間改造建設,歡迎您持續關注我們合潔電子凈化工程的網站,我們會為您持續講解潔凈工程施工流程,介紹潔凈工程各項要求以及解讀各類電子潔凈車間標準。

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